光刻机核心供应商?蔡司超乎想象!|世界微头条

“芯片制造”无疑是工业4.0时代最火的“MVP(最有价值选手)”。

而其中关键性的半导体光刻技术，在蔡司拥有悠久的历史，最早甚至可追溯到20世纪60年代末。

【资料图】

被很多半导体人所津津乐道的，当然还有蔡司与世界公认的“光刻巨擘”ASML(阿斯麦)之间，长达近40年的“神仙友谊”。

世界光刻机巨人ASML的战略伙伴

总部位于荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的ASML，是全球最大半导体设备制造商之一。有评论说：ASML的“技术基石”，是“电动晶圆台、出色的对准技术和蔡司的镜头”。

“两家公司，一项业务”(Two companies, one business)——这项著名的合作原则，标示着ASML与蔡司就像是一对并联发光的双子星，向着共同的目标不断发力。

1983年，蔡司第一次为飞利浦实验室生产用于光刻机的光学部件;这也是蔡司与ASML至今已延续了近40年友谊的正式起点。

ASML光刻机中的蔡司光学模组

从2007年1月11日蔡司向ASML交付首台用于深紫外(DUV)光刻机的Starlith 19xyi透镜开始，到2020年10月11日，蔡司完成了第1000台——对于一款如此高度复杂的产品而言，这是一个重要的里程碑。

工业4.0时代：半导体领域，蔡司从未缺席

其实蔡司早已在光学领域探索多年：1847就已开始生产具有双合透镜和三合透镜的简单显微镜，1857年卖出了蔡司第一台复合显微镜。是光学领域当仁不让的“先行者”。

蔡司在显微镜技术方面的不断创新，提供芯片失效分析和工艺控制的解决方案，为高质量芯片的产出保驾护航：

半导体器件结构的复杂化和微缩需要更精确的缺陷定位手段和更高分辨能力的成像技术，蔡司提供光学常规检测、电性失效定位、样品制备、成像和分析的多尺度、多元化解决方案，帮助用户找到隐藏在复杂结构内部的微小缺陷并追溯失效来源。

先进封装技术的发展，使集成电路产品的集成度更高、更多三维堆叠结构，对失效的定位和高效的定点制样提出了更高的要求。创新的蔡司3D X射线显微镜到激光双束电镜LaserFIB的解决方案，满足了用户在大尺寸和集成度封装样品中快速找到并分析引起失效的微观缺陷的要求。

新能源、轨道交通、消费电子等下游应用的旺盛需求驱动了国内第三代半导体产业的快速发展，衬底和外延片的缺陷密度控制、器件制造的工艺优化、封装技术的研发等阶段需要不同的成像技术。多尺度的关联显微分析有助于高效率、自动化和智能化的失效分析。

蔡司多束扫描电镜是世界上最快的扫描电子显微镜，最多可达91束平行电子束，可实现大面积样品的快速成像，为芯片逆向工程提供全新解决方案。以3nm像素大小对1平方厘米面积的样品扫描成像，仅需要3小时即可完成，这是普通扫描电镜数天的工作量。

总在去往那些最前沿的地带、寻找最新鲜的思路， 177岁的蔡司，是所走过每一个时代里的“年轻人”。

现在，当芯片制造成为决定人类未来科技走向的关键词之一，人们的生活即将因此日新月异时，蔡司也在不遗余力地求新求变;在半导体制造行业近几十年的飞速发展中，蔡司从未缺席。

关于蔡司

蔡司是全球光学和光电领域的先锋。蔡司致力于开发、生产和行销测量技术、显微镜、医疗技术、眼镜片、相机与摄影镜头、望远镜和半导体制造设备。凭借其解决方案，蔡司不断推动光学事业的发展，并促进了技术进步。公司共有四大业务部门：工业质量与研究、医疗技术、视力保健/消费光学和半导体制造技术。蔡司集团在40多个国家/地区拥有30多座工厂、50多个销售与服务机构以及约25个研发机构。

蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线和离子显微镜系统的一站式制造商，并提供相关显微镜的解决方案。产品组合包括生命科学和材料研究以及工业，教育和临床实践有关的产品和服务。该部门的总部设立在耶拿。其他生产和开发基地位于奥伯科亨，哥廷根和慕尼黑，以及英国剑桥、美国马萨诸塞州皮博迪和美国加利福尼亚州普莱森顿。蔡司研究显微镜解决方案属于工业质量和研究部门。